LM-10系列激光干涉儀特點(diǎn)：

LM系列激光干涉儀通過(guò)與外部光學(xué)組件相配合，實(shí)現(xiàn)高精度、高重復(fù)、可溯源的測(cè)量。激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等完成線性位置測(cè)密機(jī)床或測(cè)量工作，并可作為精密機(jī)床或測(cè)量?jī)x器的校準(zhǔn)工具。

測(cè)量精度高，LM系列激光干涉儀測(cè)量系統(tǒng)可達(dá)到士0.5um/m的測(cè)量精度。

激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來(lái)使用，搭配靈活，便于適應(yīng)復(fù)雜的現(xiàn)場(chǎng)應(yīng)用狀況。智能化的上位機(jī)軟件，可在機(jī)床自動(dòng)化運(yùn)行的狀況下完成定位精度、重復(fù)定位精度的測(cè)量。并且可以自動(dòng)生成相關(guān)補(bǔ)償文件，供不同廠家系統(tǒng)補(bǔ)償使用。

應(yīng)用領(lǐng)域

位置精度檢測(cè)，可檢測(cè)數(shù)控機(jī)床定位精度、重復(fù)定位精度、反向間隙、角度、直線度、微量位移精度等；其他需要高精度直線位移測(cè)量的應(yīng)用場(chǎng)合。

應(yīng)用案例

科德數(shù)控股份有限公司生產(chǎn)的KMC800系列高精度五軸立式復(fù)合加工中心，采用主軸移動(dòng)模式，并且具備高達(dá)60m/min進(jìn)給速度，1g加速度的性能指標(biāo)，X／Y／Z軸行程分別為800/800l540mm，具有銑削和車削以及磨削三種模式。利用LM系列激光干涉儀進(jìn)行X軸測(cè)量，定位精度為3.5um/m，重復(fù)定位精度為3.5um/m，這一測(cè)量值與使用雷尼紹激光干涉儀的測(cè)量值*。

LM-10系列激光干涉儀技術(shù)參數(shù)表：