XRV 交叉滾柱音圈模組系列系列，包含音圈電機動定子、十字交叉滾柱導(dǎo)軌、光柵尺反饋系統(tǒng)及載臺，
即裝即用，占用空間小適用于高剛性、高精度、高平面度及直線度的場合
性能特點：
模塊化設(shè)計, 應(yīng)用了直線音圈電機
雙重精密線型交叉滾柱導(dǎo)軌
行程可達20mm
模塊的設(shè)計配備編碼器
編碼器的高分辨率有0.1um, 20nm或5nm
應(yīng)用領(lǐng)域：
半導(dǎo)體、光學(xué)電子、食品制藥、組裝包裝
汽車生產(chǎn)檢測、生物生化檢測取樣、自動化測試
高速掃描，數(shù)碼影像系統(tǒng)
高效的焊接、貼片、組裝、測試與檢測設(shè)備
光學(xué)元件的搬運與檢測，各種精密而高速運動設(shè)備
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