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蘇州芯矽電子科技有限公司

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boe硅片清洗機(jī) 支持非標(biāo)定制

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更新時(shí)間：2025-06-03 13:57:58瀏覽次數(shù)：34次

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蘇州芯矽電子科技有限公司

經(jīng)營(yíng)模式：生產(chǎn)廠家

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

產(chǎn)地	國(guó)產(chǎn)	超聲波功率	自定義w
超聲波頻率	自定義Hz	界面語(yǔ)言	中文,英文
內(nèi)槽尺寸（長(zhǎng)×寬×高）	自定義mm	清洗槽數(shù)	≥5槽
售后保修期	24個(gè)月	外形尺寸（長(zhǎng)×寬×高）	自定義mm
銷售區(qū)域	全國(guó),華東,華南,華北,華中,東北,西南,西北,港澳臺(tái),海外	重量	自定義kg
自動(dòng)化程度	全自動(dòng)

BOE硅片清洗機(jī)專為半導(dǎo)體、光伏及光學(xué)玻璃領(lǐng)域設(shè)計(jì)，通過(guò)化學(xué)腐蝕與物理清洗結(jié)合，高效去除硅片表面污染物（如氧化硼、顆粒、金屬殘留等）。設(shè)備支持自動(dòng)化酸洗、水洗、預(yù)脫水及烘干流程，兼容182×182mm等多種硅片尺寸，適用于TOPCON工藝路線下的PSG或BSG去除。

詳細(xì)介紹

BOE硅片清洗機(jī)是一種專用于半導(dǎo)體、光伏及光學(xué)玻璃等領(lǐng)域的高精度表面處理設(shè)備，主要通過(guò)化學(xué)腐蝕與物理清洗結(jié)合的方式，去除硅片表面的氧化硼（BSG/PSG）、顆粒、金屬殘留等污染物。以下是其核心功能與技術(shù)特點(diǎn)的綜合介紹：

核心功能與工藝原理

化學(xué)腐蝕

基于氟化物溶液（如HF酸）與氧化硼的反應(yīng)，生成可溶性硼酸，實(shí)現(xiàn)薄膜剝離。腐蝕液溫度精確控制在40±2℃，通過(guò)循環(huán)流動(dòng)設(shè)計(jì)（內(nèi)槽與溢流槽聯(lián)動(dòng)）確保濃度均勻，避免局部過(guò)蝕。

支持自動(dòng)補(bǔ)液系統(tǒng)，實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)并調(diào)節(jié)藥液濃度，保障工藝穩(wěn)定性。

物理清洗輔助

超聲波或兆聲波技術(shù)增強(qiáng)微小顆粒（＜0.1μm）的剝離效果，減少機(jī)械刷洗對(duì)硅片的損傷。

多槽聯(lián)動(dòng)設(shè)計(jì)（酸洗→水洗→預(yù)脫水→烘干），單片清洗周期≤5分鐘，兼容批量處理（4/6籃配置），提升產(chǎn)能。

干燥技術(shù)

采用IPA（異丙醇）蒸干或Marangoni干燥法，避免水痕殘留，適用于低K介質(zhì)晶圓。

技術(shù)參數(shù)與設(shè)備特性

適用工藝：TOPCON路線下的BSG/PSG去除、光刻膠剝離、蝕刻后清洗等。

硅片兼容性：支持182×182mm、18X-230mm等多種尺寸，碎片率＜0.01%（硅片厚度≥130μm）。

自動(dòng)化能力：支持MES/RFID對(duì)接，可選配在線稱重、激光粒子計(jì)數(shù)等功能，實(shí)現(xiàn)工藝數(shù)據(jù)追溯與智能化控制。

環(huán)保與成本優(yōu)化：藥液回收率≥90%，降低耗材消耗；低能耗干燥技術(shù)減少碳足跡。

應(yīng)用場(chǎng)景

半導(dǎo)體制造：用于CVD后氧化層去除、金屬污染清洗，保障芯片良率。

光伏領(lǐng)域：太陽(yáng)能電池片制絨工藝中的硼硅玻璃（BSG）去除，提升光電轉(zhuǎn)換效率。

光學(xué)玻璃加工：觸摸屏玻璃基材清洗，防潛傷設(shè)計(jì)避免劃痕。

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