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蘇州清芯卓半導(dǎo)體設(shè)備有限公司


清芯卓KOH刻蝕清洗機(jī)

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參  考  價(jià):￥500000 - ￥1200000 /件
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
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    其他品牌

  • 廠商性質(zhì)

    生產(chǎn)商

  • 所在地

    蘇州市

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更新時(shí)間：2025-04-17 13:49:37瀏覽次數(shù)：72次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
產(chǎn)地 國(guó)產(chǎn) 界面語(yǔ)言 中文,英文,日語(yǔ),德語(yǔ),韓語(yǔ),其他語(yǔ)言
售后保修期 12個(gè)月 銷售區(qū)域 全國(guó),華東,華南,華北,華中,東北,西南,西北,港澳臺(tái)

刻蝕工藝是選擇性地從晶圓表面去除不需要的材料以達(dá)到集成電路芯片制造要求的工藝過(guò)程。 刻蝕工藝可以分為圖案刻蝕(pattern)與 無(wú)圖案刻蝕(blanket)兩 類。 圖案刻蝕是在區(qū)域選擇性地刻蝕材料,從而將晶圓表面上的光刻膠或硬掩模的圖案轉(zhuǎn)移。 無(wú)圖案刻蝕則是去除晶圓表面全部或者部分薄膜。

詳細(xì)介紹

晶片規(guī)格：

2-8〞單、雙cassette

主要材料:

金屬骨架+PP/PVC殼體，槽體材質(zhì)PP/PVDF/PTFE/石英

工藝槽功能：

加熱冷卻+旋轉(zhuǎn)

基礎(chǔ)工藝流程:

KOH→HQDR KOH→QDR H2SO4→QDR

設(shè)備類型：

手動(dòng)/半自動(dòng)（定制）

Footprint : 2000 (W) x 1400 (D) x 2000(H) mm（非標(biāo)）

刻蝕工藝是選擇性地從晶圓表面去除不需要的材料以達(dá)到集成電路芯片制造要求的工藝過(guò)程。





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