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淺談光柵式測(cè)微儀

2022年09月21日 09:26點(diǎn)擊:872來(lái)源:杭州金美計(jì)量?jī)x器有限公司>>進(jìn)入該公司展臺(tái)

光柵式測(cè)微儀也稱光柵測(cè)微儀、光柵長(zhǎng)度計(jì)或光電測(cè)長(zhǎng)儀,是以光柵副作為測(cè)量元件,將線位移量轉(zhuǎn)換為光電信號(hào),經(jīng)電路處理并以數(shù)字顯示位移量的一種長(zhǎng)度精密測(cè)量?jī)x器(摘自JJF 1682-2017)。

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光柵式測(cè)微儀是一種接觸式精密傳感器,現(xiàn)在小編以半導(dǎo)體制造工程、汽車制造工程為例,“圖說(shuō)”光柵式測(cè)微儀的測(cè)量應(yīng)用和測(cè)量原理。

 

 

應(yīng)用之

半導(dǎo)體制造工程

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半導(dǎo)體制造工程示意圖

點(diǎn)擊查看大圖

 

01


輥縫檢測(cè)


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02


基板厚度的檢測(cè)


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03


芯片平行度的檢測(cè)


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04


FPD基板的多點(diǎn)檢測(cè)

 

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05


測(cè)量壓接端子的鉚合高度


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06


復(fù)印機(jī)部品的平行度檢測(cè)


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應(yīng)用之

汽車制造工程

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汽車生產(chǎn)線示意圖/點(diǎn)擊查看大圖

 

 

01


汽車凸輪軸的位移量測(cè)量


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