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圖說光柵式測(cè)微儀的應(yīng)用

2022年09月22日 08:38點(diǎn)擊:607來源:杭州金美計(jì)量儀器有限公司>>進(jìn)入該公司展臺(tái)

光柵式測(cè)微儀也稱光柵測(cè)微儀、光柵長度計(jì)或光電測(cè)長儀,是以光柵副作為測(cè)量元件,將線位移量轉(zhuǎn)換為光電信號(hào),經(jīng)電路處理并以數(shù)字顯示位移量的一種長度精密測(cè)量儀器(摘自JJF 1682-2017)。




光柵式測(cè)微儀是一種接觸式精密傳感器,今天小編以半導(dǎo)體制造工程、汽車制造工程為例,“圖說”光柵式測(cè)微儀的測(cè)量應(yīng)用和測(cè)量原理。

 

 

應(yīng)用之

半導(dǎo)體制造工程

圖片


半導(dǎo)體制造工程示意圖

點(diǎn)擊查看大圖

 

01


輥縫檢測(cè)


圖片

02


基板厚度的檢測(cè)


圖片

03


芯片平行度的檢測(cè)


圖片

04


FPD基板的多點(diǎn)檢測(cè)

 

微信圖片_20220510082340.jpg

圖片

05


測(cè)量壓接端子的鉚合高度


圖片

06


復(fù)印機(jī)部品的平行度檢測(cè)


微信圖片_20220510090857.png

 

 


 

 

應(yīng)用之

汽車制造工程

圖片

汽車生產(chǎn)線示意圖/點(diǎn)擊查看大圖

 

 

01


汽車凸輪軸的位移量測(cè)量


圖片

02


汽車剎車盤的多點(diǎn)測(cè)量



圖片

03


平面度的測(cè)量


圖片

04


高度的測(cè)量


 

05


跳動(dòng)的測(cè)量

 

圖片

06


加工刀具長度的測(cè)量


 

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