機(jī)床設(shè)計特點
● PA開放式操作系統(tǒng)；
● 天然花崗巖基座，保證機(jī)床*穩(wěn)定性；
● 超精密高剛性空氣靜壓主軸；
● 超精密液體靜壓導(dǎo)軌，具有較好的剛性和阻尼性；
● X/Z軸均采用直線電機(jī)驅(qū)動，全閉環(huán)控制；
● 氣浮支承隔振系統(tǒng)zui大的減少外界振動干擾；

主要技術(shù)指標(biāo)：
（1）Z軸
zui大行程： 210mm
直線度： 0.2μm/100mm
定位精度 0.5μm±0.5μm×Lmm/100mm
重復(fù)定位精度： 0.3μm
分辨率： 10nm
zui大進(jìn)給速度： 20mm/s
（2）X軸
zui大行程： 210mm
直線度： 0.2μm/100mm
定位精度 0.5μm±0.5μm×Lmm/100mm
重復(fù)定位精度： 0.3μm
分辨率： 10nm
zui大進(jìn)給速度： 20mm/s
（3）C軸
高精度氣浮軸承回轉(zhuǎn)精度 0.1μm
轉(zhuǎn)速 0-3000rpm
轉(zhuǎn)角定位精度 30″
轉(zhuǎn)角重復(fù)性定位精度 10″