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技術(shù)參數(shù)
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Z軸（沿主軸）
- 行程： 350mm
- 直線度： 0.1μm/100mm
- 分辨率： 1nm
- 進(jìn)給速度： 20mm/s
X軸（垂直于主軸）
- 行程： 350mm
- 直線度： 0.1μm/100mm
- 分辨率： 1nm
- 進(jìn)給速度： 20mm/s
主軸（工件軸）
- 徑跳和端跳 ： 0.05μm
- 主軸轉(zhuǎn)速： 0-4000rpm
C軸（選配）
- C軸轉(zhuǎn)速： 0-1000rpm
- 轉(zhuǎn)角定位精度： 5″
- 轉(zhuǎn)角重復(fù)性定位精度：2″
B軸（液體靜）（選配）
- 徑跳和端跳：<0.1μm
- 承載：200Kg
- 定位精度：±0.5″
砂輪軸（氣體靜壓）（選配）
- 徑跳和端跳：<0.1μm
- 徑跳和端跳：<0.1μm
機(jī)床配置
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- 采用超精密空氣靜壓主軸，無(wú)摩擦損耗，回轉(zhuǎn)精度高，可選配C軸功能
- 天然花崗巖基座，保證機(jī)床長(zhǎng)久穩(wěn)定性
- PMAC控制卡
- 主軸采用內(nèi)裝式電機(jī)+高精度編碼器
- 主軸軸端安裝有動(dòng)平衡盤和真空吸盤
- 超精密液體靜壓導(dǎo)軌，具有較好的剛性和阻尼性
- X/Z軸均采用直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)，全閉環(huán)控制
