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全自動foup清洗機 FOUP/FOSB/Cassette

參考價 10000
訂貨量 ≥1
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱蘇州芯矽電子科技有限公司
  • 品       牌其他品牌
  • 型       號
  • 所  在  地蘇州市
  • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
  • 更新時間 2025-06-03
  • 訪問次數(shù)32
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蘇州芯矽電子科技有限公司是一家專業(yè)半導(dǎo)體濕法設(shè)備制造公司,主要提供實驗室研發(fā)級到全自動量產(chǎn)級槽式清洗機,單片清洗機,高純化學(xué)品/研磨液供應(yīng)回收系統(tǒng)及工程,公司核心產(chǎn)品12寸全自動晶圓化學(xué)鍍設(shè)備,12寸全自動爐管/ Boat /石英清洗機已占據(jù)行業(yè)主導(dǎo)地位,已經(jīng)成功取得長江存儲 ,中芯國際,重慶華潤,上海華虹,上海積塔,上海格科,廣東粵芯,青島芯恩,廈門士蘭,南通捷捷,湖南楚微等主流8寸12寸Fab產(chǎn)線訂單,我們致力于為合作伙伴提供量身定制的工藝及設(shè)備解決方案。



12寸全自動晶圓化學(xué)鍍設(shè)備,12寸全自動爐管/ Boat /石英清洗機
產(chǎn)地 國產(chǎn) 超聲波功率 自定義w
超聲波頻率 自定義Hz 界面語言 中文,英文
內(nèi)槽尺寸(長×寬×高) 自定義mm 清洗槽數(shù) ≥5槽
售后保修期 24個月 外形尺寸(長×寬×高) 自定義mm
銷售區(qū)域 全國,華東,華南,華北,華中,東北,西南,西北,港澳臺,海外 重量 自定義kg
自動化程度 全自動
全自動FOUP清洗機專為半導(dǎo)體制造中的晶圓傳輸容器(FOUP/FOSB)設(shè)計,通過高精度清洗技術(shù)實現(xiàn)自動化去污與干燥,確保晶圓存儲環(huán)境的潔凈度。
全自動foup清洗機 FOUP/FOSB/Cassette 產(chǎn)品信息

全自動FOUP清洗機專為半導(dǎo)體制造中的晶圓存儲與傳輸容器(FOUP/FOSB/Cassette)設(shè)計,集成噴淋清洗、超聲波空化、離心干燥等技術(shù),實現(xiàn)自動化去污與快速干燥。設(shè)備符合SEMI S2/S8標準,適用于制程中12英寸晶圓載具的清潔需求,可有效去除微粒、有機物、金屬污染及化學(xué)殘留,保障晶圓存儲環(huán)境的潔凈度(Class 10級)。

核心功能與技術(shù)優(yōu)勢

多模式清洗技術(shù):

雙流體旋轉(zhuǎn)噴射:高速DI水與壓縮空氣混合形成旋轉(zhuǎn)射流,剝離>0.1μm顆粒及頑固污染物,覆蓋FOUP內(nèi)壁、凹槽等復(fù)雜結(jié)構(gòu)。

超聲波空化清洗:1MHz高頻振動分解光刻膠殘留、油脂及納米級顆粒,避免機械接觸損傷。

化學(xué)噴淋輔助:可選配HF/H?O?溶液噴淋,針對金屬腐蝕物(如銅、鋁殘留)進行定點去除。

高效干燥系統(tǒng):

離心甩干+熱風(fēng)干燥:高速旋轉(zhuǎn)(3000rpm)結(jié)合溫控?zé)犸L(fēng)(60-120℃),殘水率<5ppm,杜絕水痕缺陷。

惰性氣體保護:可選配氮氣吹掃,防止干燥過程中二次污染。

自動化與智能化:

全自動流程:上料→清洗→漂洗→干燥→下料,全程無人干預(yù),兼容MES系統(tǒng)對接,支持工藝參數(shù)追溯。

AI污漬識別:內(nèi)置光學(xué)檢測模塊,自動判斷污染物類型并調(diào)整清洗強度(如延長超聲時間或增加化學(xué)劑量)。

關(guān)鍵性能參數(shù)

參數(shù)規(guī)格
適用載具12/14英寸FOUP、FOSB、Cassette
清洗效率單循環(huán)≤15分鐘(含3次漂洗)
潔凈度表面顆粒<3顆/cm2(≥0.2μm)
殘水率<5ppm(離心+熱風(fēng)干燥)
化學(xué)液消耗<50ml/循環(huán)(按需補償)
電源/氣源AC 380V, 50Hz / N?(純度≥99.99%)
外形尺寸1200mm×1000mm×1800mm(標準機型)

應(yīng)用場景

前道工藝:光刻后FOUP清潔,防止光刻膠污染新晶圓。

后道測試:存儲芯片的FOUP定期維護,避免氧化或微粒吸附。

光伏/化合物半導(dǎo)體:硅片承載盒清洗,兼容GaN、SiC等材料。

關(guān)鍵詞:電源
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